پودر پولیش آلومینای کلسینه شده صفحه ای از پودر آلومینا صنعتی با کیفیت بالا به عنوان ماده اولیه ساخته شده و توسط یک فرآیند تولید خاص پردازش می شود. شکل کریستالی پودر پولیش آلومینا تولید شده به صورت تخت شش ضلعی مانند جدولی است که به آن آلومینا پلاکتی یا آلومینا جدولی می گویند.
برای مواد نیمه هادی مانند ویفرهای سیلیکونی نیمه هادی، استفاده از اکسید آلومینیوم صفحه می تواند زمان سنگ زنی را کاهش دهد، راندمان سنگ زنی را تا حد زیادی بهبود بخشد، از دست دادن ماشین سنگ زنی را کاهش دهد، هزینه های کار و سنگ زنی را صرفه جویی کند و سرعت عبور سنگ زنی را افزایش دهد.
ترکیب شیمیایی
شیمیایی | ارزش تضمینی | ارزش معمولی |
Al2O3 | ≥99.0٪ | 99.36٪ |
SiO2 | <0.2٪ | 0.017٪ |
Fe2O3 | <0.1٪ | 0.03٪ |
Na2O | <0.6٪ | 0.35٪ |
خواص فیزیکی
مواد | α-Al2O3 |
رنگ | سفید |
وزن مخصوص | ≥3.9 گرم بر سانتی متر مکعب |
سختی محس | 9.0 |
تایپ کنید | D3(um) | D50 (یک) | D94 (در اطراف) |
CA45 | 50.5-56.2 | 33-38.5 | 20.7-24.5 |
CA40 | 39-44.6 | 27.7-31.7 | 18-20 |
CA35 | 35.4-39.8 | 23.8-27.2 | 15-17 |
CA30 | 28.1-32.3 | 19.2-22.3 | 13.4-15.6 |
CA25 | 24.4-28.2 | 16.1-18.7 | 9.6-11.2 |
CA20 | 20.9-24.1 | 13.1-15.3 | 8.2-9.8 |
CA15 | 14.8-17.2 | 9.4-11 | 5.8-6.8 |
CA12 | 11.8-13.8 | 7.6-8.8 | 4.5-5.3 |
CA09 | 8.9-10.5 | 5.9-6.9 | 3.3-3.9 |
CA05 | 6.6-7.8 | 4.3-5.1 | 2.55-3.05 |
CA03 | 4.8-5.6 | 2.8-3.4 | 1.5-2.1 |